| グレード | N2 | O2 | CO | CO2 | THC | H2O |
|---|---|---|---|---|---|---|
| G1 > 99.99995 vol. % |
< 0.1 vol.ppm | < 0.05 vol.ppm | < 0.02 vol.ppm | < 0.02 vol.ppm | < 0.01 vol.ppm | < - 80℃ |
| G2 > 99.999 vol. % |
< 5 vol.ppm | < 1 vol.ppm | --- | < 1 vol.ppm | < 1 vol.ppm | < - 70℃ |
| グレード | N2 | O2 | CO | CO2 | THC | H2O |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 超高純度 U > 99.99995 vol. % |
< 0.05 vol.ppm | < 0.05 vol.ppm | < 0.02 vol.ppm | < 0.02 vol.ppm | < 0.01 vol.ppm | < - 80℃ |
| 高純度 H > 99.9995 vol. % |
< 5 vol.ppm | < 0.5 vol.ppm | < 0.5 vol.ppm | < 0.5 vol.ppm | < 0.5 vol.ppm | < - 70℃ |
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