純度 | O2 | N2 | Ar | CO | CO2 | THC | H2O |
---|---|---|---|---|---|---|---|
99.9999% (6N) | - | < 0.2 | < 0.1 | < 0.1 | < 0.1 | < 0.1 | - 80 ℃ |
酸素ガスの品質
項目 | 品質 | 適用箇条 | ||
---|---|---|---|---|
純度 | %(体積) | 99.5 以上 | 4.3 | |
露点 | ℃ | −55 以下 | 4.4 | |
備考 | 露点−55 ℃は,水分 20.7 ppm(体積)に相当する。 |
重量(kg) | 液体(L) 沸点 0.1MPa | 気体(m3) 0℃、0.1MPa | 気体(m3) 15℃、0.1MPa | 気体(m3) 35℃、0.1MPa | |
---|---|---|---|---|---|
酸素 | 1 | 0.877 | 0.7 | 0.738 | 0.79 |
1.141 | 1 | 0.798 | 0.842 | 0.9 | |
1.429 | 1.254 | 1 | 1.055 | 1.128 | |
1.355 | 1.189 | 0.948 | 1 | 1.069 | |
1.266 | 1.111 | 0.886 | 0.935 | 1 |
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